熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是利用熱擴(kuò)散原理測量氣體流量的儀表。傳感器由兩個(gè)基準(zhǔn)級熱電阻(RTD)組成。一個(gè)是速度傳感器RH，一個(gè)是測量氣體溫度變化的溫度傳感器RMG。當(dāng)這兩個(gè)RTD置于被測氣體中時(shí)，其中傳感器RH被加熱，另一個(gè)傳感器RMG用于感應(yīng)被測氣體溫度。隨著氣體流速的增加，氣流帶走更多熱量，傳感器RH的溫度下降。

熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)雖然有很多的優(yōu)勢，但也有缺點(diǎn)，比如：只能測量干燥的氣體，如果氣體內(nèi)含有較大水汽，示值將偏大，初步的判斷標(biāo)準(zhǔn)是管道內(nèi)不會形成凝結(jié)水的氣體均可以測量；氣體組分變化頻繁且測量精度要求高的氣體不適合測量；氣體內(nèi)粉塵含量較高且測量精度要求高的氣體不適合測量。

熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)具有以下特點(diǎn)：

(1)直接測量氣體質(zhì)量流量，精度達(dá)到±1.0%F·S；

(2)重復(fù)性達(dá)到±0.2%F·S；

(3)量程比達(dá)到100∶1；

(4)熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)壓損極小，150mm內(nèi)徑以上壓損可以忽略；

(5)一個(gè)過程連接，標(biāo)定時(shí)已做好溫壓補(bǔ)償，無須額外的溫度、壓力變送器及對應(yīng)的補(bǔ)償；

(6)插入式安裝，雙卡套鎖緊連接方式，內(nèi)部無可動(dòng)部件，基本免維護(hù)；

(7)管道震動(dòng)對儀表性能影響非常小；

(8)可帶球閥安裝，省去旁路管道及相應(yīng)的閥門；

(9)前后直管段要求低，管道式只需1D前直管段；

(10)自帶免費(fèi)儀表通訊軟件，方便對儀表微調(diào)；